style="width:7.22003in;height:5.32664in" /> 本文是学习GB-T 30434-2013 电阻真空计通用技术条件. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了电阻真空计的术语和定义、使用条件、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输
和贮存。
本标准适用于压力指示范围为1.0×10⁻'Pa～1.0×10⁵Pa(测量范围为5.0×10⁻
'Pa～3.0×10³Pa) 的电阻真空计(以下简称真空计)。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 191—2008 包装储运图示标志
GB/T 2829—2002 周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)
GB/T 3369.1—2008 过程控制系统用模拟信号 第1部分：直流电流信号
GB/T 3369.2—2008 过程控制系统用模拟信号 第2部分：直流电压信号
GB 4793.1—2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求
第1部分：通用要求
GB/T 4982—2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分：夹紧型
GB/T 6107—2000
使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口
GB/T 11014—1989 平衡电压数字接口电路的电气特性
GB/T 25480—2010 仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法
JJG 2022—2009 真空计量器具
ANSI/EIA/TIA 574—1990
使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路端接设备之间
的同步接口
GB/T 3163—2007
界定的术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了
GB/T 3163—2007中的一些术语和定义。
3.1
真空计 vacuum gauge
测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的仪器。
注：通常使用的某些真空计实际上不测量压力(术语中它是以作用在表面上的力来表达的),而是测量在规定条件
下与压力有关的某些其他物理量。
[GB/T 3163—2007,定义4.1.2]
3.2
规管 gauge head
规头
电阻真空计中，包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。
GB/T 30434—2013
[GB/T 3163—2007,定义4.1.2.1]
3.3
真空计控制单元 gauge control unit
电阻真空计中，包含电源和测量、控制及输出等功能所需的部件。
[GB/T 3163—2007,定义4.1.2.2]
3.4
真空计指示单元 gauge indicating unit
电阻真空计中，以压力为单位显示输出信号的部件。
[GB/T 3163—2007,定义4.1.2.21]
4.3 供电电源：交流额定电压220 V,
允许偏离额定值的范围为±10%(采用模块电源的允许在交流电 压为85 V～265V
的范围内工作);额定频率：50 Hz, 允许偏离额定值的范围为±2%。
4.4 周围无强烈振动、灰尘、强电磁干扰和腐蚀性气体。
5.1.1 规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。
5.1.2
真空计的开关、按钮、指示灯、插头(座)、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好。
5.1.3 真空计所有紧固件应牢靠，不应松动脱落。
5.1.4 真空计机箱表面应平整、光洁，无明显涂层剥落、锈蚀等现象。
5.2.1.1
当规管热丝电阻冷态电阻值在10Ω~50Ω时，其电阻值不应超过规管设计要求值的±5%。
5.2.1.2
当规管热丝电阻冷态电阻值在51Ω~100Ω时，其电阻值不应超过规管设计要求值
的±1.5%。
5.2.2.1
规管连接部分为圆型管道时，管道的外径应为15.5 mm±0.5 mm。
5.2.2.2
规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，应符合GB/T 4982—2003 的要求。
规管对氦气的漏率不应大于10⁻⁸ Pa ·m³/s。
规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不应小于10 MΩ。
GB/T 30434—2013
指示范围为1.0×10⁻ ¹Pa～1.0×10⁵Pa。
5.3.2.1 测量范围为5.0×10⁻ ¹Pa ～ 3.0×10³Pa。
5.3.2.2 测量范围内示值相对误差不应超过±50%。
5.3.3.1 正式调整好开始，零点1 h
内漂移量不应超过测量范围下限值的±10%。
5.3.3.2 正式调整好开始，满度1 h
内漂移量不应超过指示范围上限值的±25%。
5.3.4.1 供电电源电压在220 V±22V
范围内变化时，零点的漂移量不超过测量范围下限值的±5%。
5.3.4.2 供电电源电压在220 V±22V
范围内变化时，满度的漂移量不超过指示范围上限值的±5%。
5.3.5.1
在采用规定值的介电强度电压试验时，真空计不应出现击穿或重复飞弧现象(电晕效应和类似
现象可忽略不计)。
5.3.5.2
真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻，在电源开关闭合情况下不应小于10
MΩ。
当真空计有模拟量输出信号时，应满足下列要求：
a) 真空计模拟直流电流信号范围应符合 GB/T 3369.1—2008 的要求；
b) 真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T 3369.2—2008 的要求。
5.3.7.1
当真空计有开关量输出接口时，应满足下述要求：
a) 应注明接口的电气性能，如，有源或无源触点输出、触点的功率参数等；
b) 应注明接口的各个引线的序号和功能。
5.3.7.2 当真空计有通信接口时，应满足下述要求：
a) 真空计的数字通信接口，应优先采用RS232、RS485 和 RS422 接口；
b) 采用25针和RS232C/RS485 接口应符合GB/T 6107—2000 的要求；
c) 采 用 9 针 RS232C/RS485 接口应符合 ANSI/EIA/TIA 574—1990 的要求；
d) 采用 RS422 接口应符合 GB/T 11014—1989 的要求。
真空计在包装完好状态下，模拟运输、贮存基本环境条件进行高温试验、低温试验、湿热试验和跌落
试验，试验结束后，打开包装，真空计应完好无损，其结果应符合5.1、5.2和5.3的要求。
当真空计不接规管或规管损坏时，真空计应有特别指示(具体提示方法由制造商在技术文件中给
GB/T 30434—2013
出),不应显示错误的真空度数据。
环境温度为23℃±5℃,湿度不大于85%,周围无热源、无空气对流并无振动。
用目测、手动方法或相应的测量工具进行检查，结果应符合5.1的规定。
6.3.1.1 用电桥测量法测量冷态电阻，测量电路见图1。
style="width:7.22003in;height:5.32664in" />
E
说明：
R₁ 、R2——标准电阻，R₁=R₂ ,R₁ 、R₂ 取近似于Ro 的2倍，其误差不超过±0.5%;
R 电阻真空计规管电阻；
R。 —
标准电阻箱，最小步进值应优于规管电阻R。的0.2%,最大电阻为R。的2倍；
R、 ——0kΩ~20kΩ多圈电位器；
G —0.5 级光点检流计；
E ——稳定度优于0.2%的直流稳压电源，其标称值为2 V;
mA 准 确 度 等 级 为 1 级 的 直 流 毫 安 表 。
图 1 电桥测量法电路示意图
6.3.1.2 测量时取加热电流为工作时最小电流的1%。
6.3.1.3
在环境温度为23℃±5℃、湿度不大于85%,并在无热源、无空气对流及无振动的条件下，按
照规管正常使用时的安装位置放置规管。调节标准电阻箱R₃ , 使 得 I₃
为0;这时R。=R₃ ,R。 值由电 阻箱读出，其电阻值应符合5.2.1的规定。
注：参照JJF 1050—1996的有关规定进行。
GB/T 30434—2013
6.3.2.1 用游标卡尺测量圆型管道的外径(离出口不小于30
mm 部分),结果应符合5.2.2.1的规定。
6.3.2.2 用观察或GB/T
4982—2003所规定的相应检测工具进行检查，结果应符合5.2.2.2的规定。
在灵敏度不低于(5×10-10)Pa ·m³/s
的氦质谱检漏仪上进行检查，结果应符合5.2.3的规定。
用测试电压为500 V
的绝缘电阻测试仪检查规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻，结果应符合
5.2.4的规定。
6.4.1.1
仪器零点的调整，当真空系统真空度高于1.0×10-²Pa
时，对真空计指示值进行零点调节。
6.4.1.2
仪器满度的调整，用氮气缓缓放入真空系统至1.0×10⁵ Pa
时，对真空计指示值进行满度调节。
6.4.1.3
在真空校准系统上检查电阻真空计显示的压力指示范围，结果应符合5.3.1的规定。
6.4.2.1
采用标准真空计比对校准法来检测真空计测量的相对误差。示意图见图2。
style="width:6.95335in;height:4.80656in" />真空阀
标准真空规
被校真空规
真 空 室
真空阀
真空获得系统
图 2 真空标准装置比对校准法示意图
6.4.2.2
图中标准真空计采用压缩式真空计或薄膜真空计，具体测量范围及最大允差或不确定度见
JJG 2022—2009。
6.4.2.3 调节真空室压力使标准真空计指示在0.5 Pa
、1Pa 、5Pa 、10 Pa 、30 Pa 、60 Pa 、100 Pa 、200 Pa、
500 Pa 、1000 Pa 、3000 Pa
等11个点上，逐点记录被检仪器的指示值，按式(1)计算各点的相对误差，其
最大相对误差应符合5.3.2的规定。
style="width:2.63344in;height:0.6534in" />
……………………
(1)
GB/T 30434—2013
式中：
δ — — 相对误差；
Pm—— 被校真空计指示值；
P,—— 标准真空计压力值。
6.4.3 稳定性及供电电源电压影响量试验
6.4.3.1 仪器在试验前，预热时间不应少于30 min
。将真空计配用的真空规与真空系统连接，在真空
室处于大气压力下调节好真空计的满度，在真空室真空度高于1.0×10-²Pa
的某一稳定压力时，调节好
真空计的零点。再将真空室处于大气压力下重新调节好真空计的满度，在真空室真空度高于
1.0×10-²Pa
的某一稳定压力时，重新调节好真空计的零点。重复上述过程2次～3次，确认调节好真
空计的满度和零点。
6.4.3.2 调好零点，1 h
后观察真空计指示值的漂移量，结果应符合5.3.3.1的规定。
6.4.3.3 调好满度，1 h
后观察真空计指示值的漂移量，结果应符合5.3.3.2的规定。
6.4.3.4
调好零点，维持系统压力不变，令供电电源电压在220 V±22V
范围内变化，真空计指示值的
5.3.4.1 的规定。
6.4.3.5
调好满度，维持系统压力不变，令供电电源电压在220 V±22V
范围内变化，真空计指示值的
5.3.4.2 的规定。
6.4.4.1 介电强度试验按GB 4793. 1—2007
中6.8的规定进行，其结果应符合5.3.5.1的规定。
6.4.4.2 用500 V
绝缘电阻表测量真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻，其结果应符合
5.3.5.2 的规定。
6.4.5.1
用0.5级直流电压表对输出模拟直流电压信号按制造商在技术文件中的规定进行检测。
6.4.5.2
用0.5级直流电流表对输出模拟直流电流信号按制造商在技术文件中的规定进行检测。
6.4.6 开关量输出接口与通信接口试验
按制造商在技术文件中的规定进行检测。
真空计在包装完好情况下，按GB/T 25480—2010 的要求进行。其中：
a) 高温试验选用：55℃±2℃;
b) 低温试验选用： -25℃±2℃;
c) 湿热试验选用：相对湿度(25℃)95%;
d) 跌落试验选用：自由跌落高度250 mm。
6.4.8.1
不接规管直接开机，按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示。
6.4.8.2
连接好规管开机，记录当时的输出状态。将规管拔掉，再次记录此时的输出状态。检查这两次
记录的输出状态是否改变，按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示。
GB/T 30434—2013
真空计的检验分为：
a) 出厂检验；
b) 定型检验；
c) 周期检验。
7.2.1
出厂检验由生产厂质量检验部门逐台检验，合格后签发产品合格证，方可出厂。
7.2.2 出厂检验的项目、要求及试验方法的条款号见表1。
表 1
|
|
|
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
 |
|
|
|||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|||||||
7.3.1 具有以下情形之一，应进行定型检验：
a) 新产品设计定型或生产定型时；
b) 老产品转厂生产时；
c) 产品的设计、结构、工艺、材料有较大变动且有可能影响产品性能时；
d) 质量监督机构要求时。
7.3.2 定型检验的样本为3台，检验项目见表1,所有项目应符合规定的要求。
7.3.3
定型检验由制造厂质量检验部门执行，也可委托质量检验技术机构执行，应出具定型检验报告。
7.3.4
经定型检验合格的真空计应整修，更换寿命终了或接近终了的零部件，并重新进行出厂检验。
检验合格后签发产品合格证，允许出厂。
GB/T 30434—2013
在下列情况之一时进行周期检验：
a) 正常生产时每两年进行不少于一次的检验，
b) 产品停产一年后，恢复生产时；
c) 出厂检验结果与上次周期检验有较大差异时；
d) 质量监督机构要求时。
周期检验的项目、要求及试验方法的条款号见表1。
7.4.3.1 周期检验采用GB/T 2829—2002 中判别水平 I
的一次抽样方案。
7.4.3.2
周期检验项目的不合格分类、不合格质量水平(RQL) 、 判别水平(DL)
及判定数组(A。,R。)见
表 2 。
表 2
|
|
|
|
|
|
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
||
7.4.3.3 周期检验按GB/T 2829—2002
的规定进行合格或不合格判断，其中批质量以每百单位产品不
合格数表示。
周期检验的样本应在出厂检验合格品中随机抽取。
7.4.5.1
周期检验不合格，应分析原因，找出问题并落实措施，重新进行周期检验。若再次周期检验不
合格，则应停产整顿，产品停止出厂检验，待解决问题，周期检验合格后，方可恢复出厂检验。
GB/T 30434—2013
7.4.5.2
若周期检验合格，经出厂检验合格的批可以作为合格品出厂或入库。
产品应有下列醒目的耐久性标志：
a) 制造者的名称；
b) 产品型号和名称；
c) 指示范围、测量范围内相对误差等产品主要参数；
d) 制造日期；
e) 出厂编号。
8.2.1 真空计应选用防震、防潮和抗压防护包装。
8.2.2
包装箱上的文字应清晰，内容包括制造厂名、产品型号、名称、包装日期及GB/T
191—2008 规定
的易碎物品、向上和怕雨等标志。
8.2.3 每台真空计包装时应附有装箱单、使用说明书和产品合格证。
真空计在包装完整的条件下，允许用一般交通工具运输。运输过程中应防止剧烈振动、挤压及
雨淋。
产品应原箱贮存在环境温度0℃~40℃,相对湿度不超过85%的通风良好的室内。不应有可能引
起腐蚀的酸、碱气体存在，不能有强磁场存在。贮存期不宜超过一年。
style="width:3.08656in" />GB/T 30434—2013
更多内容 可以 GB-T 30434-2013 电阻真空计通用技术条件. 进一步学习